我国目前广泛应用三氯氢硅氢还原法制备多晶硅。制备三氯氢硅的反应为：
Si(s)＋3HCl(g) = SiHCl3(g)＋H2(g) ΔH=-210 kJ/mol。
伴随的副反应有：Si(s)＋4HCl(g) = SiCl4(g)＋2H2(g) ΔH=-241 kJ/mol。
SiCl4在一定条件下与H2反应可转化为SiHCl3 ， 反应的热化学方程式为（ ）
A、SiCl4＋H2 =SiHCl3＋HClΔH= +31 kJ/mol
B、SiCl4＋H2 = SiHCl3＋2HCl ΔH= -31 kJ/mol
C、SiCl4(g)＋H2(g) = SiHCl3(g)＋HCl(g) ΔH=+31 kJ/mol
D、SiCl4(g)＋H2(g) = SiHCl3(g)＋2HCl(g) ΔH= -31 kJ/mol
