试题 试卷
题型:综合题 题类:常考题 难易度:普通
浙江省金华市方格外国语学校2020-2021学年高一下学期化学5月月考试卷
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氮化硅膜与二氧化硅膜相比较具有表面化学性能稳定等优点,故氮化硅膜可用于半导体工业.为生成氮化硅膜,可以用NH3和SiH4(硅烷)在一定条件下反应并在600℃的加热基板上生成氮化硅膜:
3SiH4+4NH3Si3N4+12H2
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