试题 试卷
题型:综合题 题类:常考题 难易度:普通
Ⅰ
Ⅱ
Ⅲ
Ⅳ
盐酸液的体积(mL)
30
样品(g)
3.32
4.15
5.81
7.47
二氧化碳的体积(mL)
672
840
896
氮化硅膜与二氧化硅膜相比较具有表面化学性能稳定等优点,故氮化硅膜可用于半导体工业.为生成氮化硅膜,可以用NH3和SiH4(硅烷)在一定条件下反应并在600℃的加热基板上生成氮化硅膜:
3SiH4+4NH3Si3N4+12H2
试题篮